超精密加工技术是以高精度为目标的技术，它必须综合应用各种新技术，在各个方面精益求精的条件下，才有可能突破常规技术达不到的精度界限，达到新的高精度指标。近20年来超精密加工技术在以下几个方面有很大的进展：①超精密加工机床技术；②超精密加工刀具及加工工艺技术；③超精密加工的测量与控制技术；④超精密加工环境控制(包括恒温、隔热、洁净控制等)。